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nano-CMM(ナノメートル分解能の三次元座標測定機)の開発

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nano-CMM(ナノメートル分解能の三次元座標測定機)の開発

資料種別
図書
著者
研究代表者 高増潔
出版者
高増潔
出版年
1998.3
資料形態
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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資料種別
図書
タイトルよみ
nano CMM ナノ メートル ブンカイノウ ノ サンジゲン ザヒョウ ソクテイキ ノ カイハツ
著者・編者
研究代表者 高増潔
出版事項
出版年月日等
1998.3
出版年(W3CDTF)
1998
大きさ
30cm
並列タイトル等
平成7年度-平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
文部省科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書