化学的機械研磨(CMP)プロセスにおける研磨粒子凝集体の圧縮・ずり変形挙動の解明

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資料種別: 図書
タイトル: 化学的機械研磨(CMP)プロセスにおける研磨粒子凝集体の圧縮・ずり変形挙動の解明
タイトルよみ: カガクテキキカイケンマ (CMP) プロセスニオケルケンマリュウシギョウシュウタイノアッシュクズリヘンケイキョドウノカイメイ
著者・編者: 塚田隆夫研究代表
著者標目: 塚田, 隆夫ツカダ, タカオ
https://ci.nii.ac.jp/author/DA12822539
出版事項: [塚田隆夫]
出版年月日等: 2005.3
出版年（W3CDTF）: 2005
大きさ: 30cm
並列タイトル等: 平成15年度-平成16年度科学研究費補助金基盤研究(B)(2)研究成果報告書(課題番号15360407)
出版地（国名コード）: ja
本文の言語コード: ja
対象利用者: 一般
一般注記: 参考文献: p36
関連情報: 科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000796573175552
関連情報（URI）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB10657534#entity
掲載誌: 科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000796573175552
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
提供元機関・データベース: CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NACSIS書誌ID（NCID）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB10657534 : BB10657534