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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- レーザー CVDホウ ニヨル モリブデンマク オヨビ タンタル サンカブツマク ノ サクセイ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 渡邊昭雄 [著]
- 著者標目
- 渡邊, 昭雄 ワタナベ, アキオ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [1996]
- 出版年(W3CDTF)
- 1996
- 大きさ
- 30cm
- 並列タイトル等
- レーザーCVD法によるモリブデン膜およびタンタル酸化物膜の作製に関する研究