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極微細金属配線における高密度電子流に誘起される方向性原子移動現象の解明及び制御

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極微細金属配線における高密度電子流に誘起される方向性原子移動現象の解明及び制御

資料種別
図書
著者
研究代表者 新宮原正三
出版者
[新宮原正三]
出版年
1995.3
資料形態
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

課題番号:03555061研究代表者: 新宮原正三(広島大学工学部助教授)研究分担者: 堀池靖浩, 進藤春雄, 坂上弘之, 金子尚史...

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資料種別
図書
タイトルよみ
キョクビサイ キンゾク ハイセン ニオケル コウミツド デンシリュウ ニ ユウキサレル ホウコウセイ ゲンシ イドウ ゲンショウ ノ カイメイ オヨビ セイギョ
著者・編者
研究代表者 新宮原正三
著者標目
新宮原, 正三 シングハラ, ショウソウ
出版事項
出版年月日等
1995.3
出版年(W3CDTF)
1995
大きさ
30cm
出版地(国名コード)
ja