VUVマイクロ加工

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資料種別: 図書
タイトル: VUVマイクロ加工
タイトルよみ: VUV マイクロカコウ
著者・編者: 研究代表者杉村博之
著者標目: 杉村, 博之スギムラ, ヒロユキ
https://ci.nii.ac.jp/author/DA12567464
京都大学大学院工学研究科キョウトダイガクダイガクインコウガクケンキュウカ
https://ci.nii.ac.jp/author/DA12826609
出版事項: [杉村博之]
出版年月日等: 2008.3
出版年（W3CDTF）: 2008
大きさ: 30cm
並列タイトル等: 平成17年度～平成19年度科学研究費補助金(基盤研究(A))研究成果報告書 : (課題番号 17206073)
VUV microfabrication
出版地（国名コード）: ja
対象利用者: 一般
一般注記: 京都大学大学院工学研究科
関連情報（URI）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB02517799#entity
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
提供元機関・データベース: CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NACSIS書誌ID（NCID）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB02517799 : BB02517799