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電子ビーム直接描画とビアマスク可変論理設計技術を用いた電子印鑑LSIの研究 : 研究成果報告書

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電子ビーム直接描画とビアマスク可変論理設計技術を用いた電子印鑑LSIの研究 : 研究成果報告書

資料種別
図書
著者
研究代表者 藤野毅
出版者
[藤野毅]
出版年
2008.5
資料形態
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

平成18年度-平成19年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書課題番号: 18560355参考文献あり

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資料種別
図書
タイトルよみ
デンシ ビーム チョクセツ ビョウガ ト ビアマスク カヘン ロンリ セッケイ ギジュツ オ モチイタ デンシ インカン LSI ノ ケンキュウ : ケンキュウ セイカ ホウコクショ
著者・編者
研究代表者 藤野毅
著者標目
藤野, 毅 フジノ, タケシ
出版事項
出版年月日等
2008.5
出版年(W3CDTF)
2008
大きさ
30cm
並列タイトル等
科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書 : 平成18年度-平成19年度