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Proceedings, IEEE Micro Electro Mechanical Systems : an investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and systems : Oiso, Japan, January 25-28, 1994 : soft. : case. : micro.

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Proceedings, IEEE Micro Electro Mechanical Systems : an investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and systems : Oiso, Japan, January 25-28, 1994 : soft.

資料種別
図書
著者
sponsored by the IEEE Robotics and Automation Society in cooperation with the ASME Dynamic Systems and Control Division and the Micromachine Center
出版者
IEEE Service Center
出版年
c1994
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
28 cm
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

"IEEE catalog number 94CH3404-1"Includes bibliographical references and indexes

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紙

資料種別
図書
ISBN
0780318331
078031834X
0780318358
タイトル
Proceedings, IEEE Micro Electro Mechanical Systems : an investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and systems : Oiso, Japan, January 25-28, 1994
巻次・部編番号
: soft.
: case.
: micro.
著者・編者
sponsored by the IEEE Robotics and Automation Society in cooperation with the ASME Dynamic Systems and Control Division and the Micromachine Center
著者標目
IEEE Robotics and Automation Society
https://ci.nii.ac.jp/author/DA04995713外部サイト
American Society of Mechanical Engineers. Dynamic Systems and Control Division
https://ci.nii.ac.jp/author/DA04247639外部サイト
Micromachine Center
IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems
https://ci.nii.ac.jp/author/DA04552610外部サイト
出版事項
IEEE Service Center
出版年月日等
c1994
出版年（W3CDTF）
1994
大きさ
28 cm