炭化ケイ素結晶の異方性 : 高温酸化と表面プロセス変形によるアプローチ

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資料種別: 図書
タイトル: 炭化ケイ素結晶の異方性 : 高温酸化と表面プロセス変形によるアプローチ
タイトルよみ: タンカケイソケッショウノイホウセイ : コウオンサンカトヒョウメンプロセスヘンケイニヨルアプローチ
著者・編者: 成島尚之研究代表
著者標目: 成島, 尚之ナルシマ, タカユキ
https://ci.nii.ac.jp/author/DA17037923
出版事項: [成島尚之]
出版年月日等: 2004.5
出版年（W3CDTF）: 2004
大きさ: 30cm
並列タイトル等: 平成14年度-平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書(課題番号14550696)
出版地（国名コード）: ja
本文の言語コード: ja
対象利用者: 一般
関連情報: 科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282272641935488
関連情報（URI）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB10013688#entity
掲載誌: 科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282272641935488
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
提供元機関・データベース: CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NACSIS書誌ID（NCID）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB10013688 : BB10013688