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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- デンキ カガク プロセッシング ニヨル チツカブツケイ ハクマク ノ ケイセイ セイギョ ト ソノ オウヨウ
- 著者・編者
- 伊藤靖彦研究代表
- 著者標目
- 伊藤, 靖彦 イトウ, ヤスヒコ
- 出版事項
- 出版年月日等
- 1998.8
- 出版年（W3CDTF）
- 1998
- 大きさ
- 30cm
- 並列タイトル等
- Controlled formation and its application of nitride thin film by means of electrochemical processings平成7年度科学研究費補助金試験研究(B)(1)研究成果報告書(課題番号06555268)