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有機金属原料を用いる原子層エピタキシーのマイクロバランスによるその場観察

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有機金属原料を用いる原子層エピタキシーのマイクロバランスによるその場観察

資料種別
図書
著者
纐纈明伯研究代表者
出版者
纐纈明伯
出版年
1996.3
資料形態
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

[課題番号] : 06452108

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資料種別
図書
タイトルよみ
ユウキ キンゾク ゲンリョウ オ モチイル ゲンシソウ エピタキシー ノ マイクロ バランス ニ ヨル ソノ バ カンサツ
著者・編者
纐纈明伯研究代表者
著者標目
纐纈, 明伯 コウキツ, アキノリ
出版事項
出版年月日等
1996.3
出版年(W3CDTF)
1996
大きさ
30cm
並列タイトル等
科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書 : 平成7年度