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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- カソク イオン ビーム オ モチイタ デンキョク ヒョウメン ノ In-Situ ソクテイ
- 著者・編者
- 伊藤靖彦研究代表
- 著者標目
- 伊藤, 靖彦 イトウ, ヤスヒコ京都大学大学院工学研究科 キョウト ダイガク ダイガクイン コウガク ケンキュウカ
- 出版事項
- 出版年月日等
- 1994.3
- 出版年（W3CDTF）
- 1994
- 大きさ
- 26cm
- 並列タイトル等
- 平成5年度文部省科学研究費補助金一般研究(B)研究成果報告書 : 研究課題番号 03453075