低加速FIBによる化合物半導体のマスクレス極微領域選択エピタキシーに関する研究

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資料種別: 図書
タイトル: 低加速FIBによる化合物半導体のマスクレス極微領域選択エピタキシーに関する研究
タイトルよみ: テイカソク FIB ニヨルカゴウブツハンドウタイノマスクレスキョクビリョウイキセンタクエピタキシーニカンスルケンキュウ
著者・編者: 朴康司研究代表
著者標目: 朴, 康司ボク, ヤスジ
https://ci.nii.ac.jp/author/DA14197956
出版事項: 朴康司
出版年月日等: 2004.10
出版年（W3CDTF）: 2004
大きさ: 30cm
出版地（国名コード）: ja
本文の言語コード: ja
対象利用者: 一般
一般注記: 課題番号: 14550298
代表者所属: 豊橋技術科学大学工学部
関連情報: 科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282272641935488
関連情報（URI）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA79868766#entity
掲載誌: 科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282272641935488
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
提供元機関・データベース: CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NACSIS書誌ID（NCID）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA79868766 : BA79868766