Studies on effect of excitation frequency on neutral radicals in very high frequency capacitively coupled plasma

資料に関する注記

一般注記：: Thesis (Ph.D.)--Nagoya University. Graduate School of Engineering, 2004Kind of academic degree: 博士(工学)Date degree granted: 2004-03-25...

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資料種別: 図書
タイトル: Studies on effect of excitation frequency on neutral radicals in very high frequency capacitively coupled plasma
著者・編者: Takayuki Ohta
著者標目: 太田, 貴之オオタ, タカユキ
出版事項: [s.n.]
出版年月日等: [2004]
出版年（W3CDTF）: 2004
大きさ: 29 cm
並列タイトル等: VHF容量結合プラズマ中の中性ラジカルにおける励起周波数の効果に関する研究
本文の言語コード: en
対象利用者: 一般
一般注記: Thesis (Ph.D.)--Nagoya University. Graduate School of Engineering, 2004
Kind of academic degree: 博士(工学)
Date degree granted: 2004-03-25
Report number: 甲第6268号
Diploma number: 工博第1843号
関連情報（URI）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB13473017#entity
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
提供元機関・データベース: CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NACSIS書誌ID（NCID）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB13473017 : BB13473017