半導体プロセスにおけるチャージング・ダメージ

資料種別: 図書

著者: 中村, 守孝ほか

出版者: リアライズ・アドバンストテクノロジ

出版年: c2006

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 30cm

NDC: -

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資料に関する注記

一般注記：: 編集委員長: 中村守孝. 編集委員: 橋本浩一, 森治久, 小柳光正, Paul Aum編者のヨミは推量形1996年2月刊の複製...

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紙

資料種別: 図書
ISBN: 489808074X
タイトル: 半導体プロセスにおけるチャージング・ダメージ
タイトルよみ: ハンドウタイプロセスニオケルチャージングダメージ
著者標目: 中村, 守孝ナカムラ, モリタカ
橋本, 浩一ハシモト, コウイチ
https://ci.nii.ac.jp/author/DA07964330
森, 治久モリ, ハルヒサ
小柳, 光正コヤナギ, ミツマサ
https://ci.nii.ac.jp/author/DA00270005
Aum, Paul
出版事項: リアライズ・アドバンストテクノロジ
出版年月日等: c2006
出版年（W3CDTF）: 2006
大きさ: 30cm
並列タイトル等: 半導体プロセスにおけるチャージングダメージ
出版地（国名コード）: ja
本文の言語コード: ja
対象利用者: 一般
一般注記: 編集委員長: 中村守孝. 編集委員: 橋本浩一, 森治久, 小柳光正, Paul Aum
編者のヨミは推量形
1996年2月刊の複製
背と裏表紙に「Realize, Science & Engineering」とあり. (2007年10月、リアライズ・アドバンストテクノロジからRealize, Science & Engineeringに出版事業譲渡されている)
参考文献あり
関連情報: Basic selection
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000794694784512
関連情報（URI）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA88815385#entity
掲載誌: Basic selection
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000794694784512
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
提供元機関・データベース: CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NACSIS書誌ID（NCID）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA88815385 : BA88815385