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単一電子トラップ直視技術の開発とそれを用いた極薄ゲート絶縁膜の劣化機構の解明

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単一電子トラップ直視技術の開発とそれを用いた極薄ゲート絶縁膜の劣化機構の解明

資料種別
図書
著者
近藤博基 [ほか著]
出版者
[出版者不明]
出版年
2005.4
資料形態
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

課題番号:13305005研究分担者: 財満鎭明, 酒井朗 ほか平成13年度〜平成15年度の研究代表者: 安田幸夫

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資料種別
図書
タイトルよみ
タンイツ デンシ トラップ チョクシ ギジュツ ノ カイハツ ト ソレ オ モチイタ ゴクウス ゲート ゼツエンマク ノ レッカ キコウ ノ カイメイ
著者・編者
近藤博基 [ほか著]
出版事項
出版年月日等
2005.4
出版年(W3CDTF)
2005
大きさ
30cm
並列タイトル等
平成13年度〜平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書