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真空紫外レーザ分光法によるプロセスプラズマ中の原子状ラジカルの気相・表面反応診断

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真空紫外レーザ分光法によるプロセスプラズマ中の原子状ラジカルの気相・表面反応診断

資料種別
図書
著者
橘邦英研究代表
出版者
[橘邦英]
出版年
2003.3
資料形態
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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資料種別
図書
タイトルよみ
シンクウ シガイ レーザー ブンコウホウ ニ ヨル プロセス プラズマチュウ ノ デンシジョウ ラジカル ノ キソウ・ヒョウメン ハンノウ シンダン
著者・編者
橘邦英研究代表
出版事項
出版年月日等
2003.3
出版年(W3CDTF)
2003
大きさ
30cm
並列タイトル等
平成13〜14年度科学研究費補助金基盤研究(B)(2)研究成果報告書