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ナノメートル精度を持つ光線基準の開発と大型部品の超高精度平面度測定への応用

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ナノメートル精度を持つ光線基準の開発と大型部品の超高精度平面度測定への応用

資料種別
図書
著者
研究代表者 島田尚一
出版者
[島田尚一]
出版年
1999.4
資料形態
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

[課題番号]: 09555045参考文献: P116-117

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資料種別
図書
タイトルよみ
ナノ メートル セイド オ モツ コウセン キジュン ノ カイハツ ト オオガタ ブヒン ノ チョウコウセイド ヘイメンド ソクテイ エノ オウヨウ
著者・編者
研究代表者 島田尚一
著者標目
島田, 尚一 シマダ, ショウイチ
出版事項
出版年月日等
1999.4
出版年(W3CDTF)
1999
大きさ
30cm
並列タイトル等
平成9年度〜平成10年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書