Development and application of compact electron cyclotron resonance plasma sources

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資料種別: 図書
タイトル: Development and application of compact electron cyclotron resonance plasma sources
著者・編者: Patrick J. O'Keeffe
著者標目: O'Keeffe, Patrick J.
https://ci.nii.ac.jp/author/DA10774322
出版事項: Patrick J. O'Keeffe
出版年月日等: 1996.9
出版年（W3CDTF）: 1996
大きさ: 30cm
並列タイトル等: コンパクトECRプラズマソースの開発とその応用
出版地（国名コード）: ja
本文の言語コード: en
対象利用者: 一般
一般注記: Thesis (Dr.Engineering)--Saitama University, 1996, 博理工甲第159号
関連情報（URI）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA31436707#entity
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
提供元機関・データベース: CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NACSIS書誌ID（NCID）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA31436707 : BA31436707