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残留抵抗比による高純度金属およびその薄膜の精確な純度評価法の確立

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残留抵抗比による高純度金属およびその薄膜の精確な純度評価法の確立

資料種別
図書
著者
三村耕司研究代表者
出版者
[三村耕司]
出版年
2000.3
資料形態
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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資料種別
図書
タイトルよみ
ザンリュウ テイコウヒ ニヨル コウジュンド キンゾク オヨビ ソノ ハクマク ノ セイカク ナ ジュンド ヒョウカホウ ノ カクリツ
著者・編者
三村耕司研究代表者
著者標目
三村, 耕司 ミムラ, コウジ
出版事項
出版年月日等
2000.3
出版年(W3CDTF)
2000
大きさ
30cm
並列タイトル等
平成9-11年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書(研究課題番号09650803)