半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイム、DLTS評価を中心として

資料種別: 図書

著者: 宇佐美晶, 徳田豊 [著]

出版者: リアライズ・アドバンストテクノロジ

出版年: c2006

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 30cm

NDC: 549.8

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資料に関する注記

一般注記：: 1990年2月刊の複製背と裏表紙に「Realize, Science & Engineering」とあり. (2007年10月、リアライズ・アドバンストテクノロジからRealize, Science & Engineeringに出版事業譲渡されている)参考文献あり

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資料種別: 図書
ISBN: 9784898080528
タイトル: 半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイム、DLTS評価を中心として
タイトルよみ: ハンドウタイデバイスコウテイヒョウカギジュツ : ライフタイム DLTS ヒョウカオチュウシントシテ
著者・編者: 宇佐美晶, 徳田豊 [著]
著者標目: 宇佐美, 晶ウサミ, アキラ
https://ci.nii.ac.jp/author/DA00132497
徳田, 豊トクダ, ユタカ
https://ci.nii.ac.jp/author/DA07197537
出版事項: リアライズ・アドバンストテクノロジ
出版年月日等: c2006
出版年（W3CDTF）: 2006
大きさ: 30cm
並列タイトル等: 半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイムDLTS評価を中心として
出版地（国名コード）: ja
本文の言語コード: ja
件名標目: 半導体
NDC8版: 549.8
NDC9版: 549.8 : 電子工学
対象利用者: 一般
一般注記: 1990年2月刊の複製
背と裏表紙に「Realize, Science & Engineering」とあり. (2007年10月、リアライズ・アドバンストテクノロジからRealize, Science & Engineeringに出版事業譲渡されている)
参考文献あり
関連情報: Basic selection
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000794694784512
関連情報（URI）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA87878710#entity
掲載誌: Basic selection
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000794694784512
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
提供元機関・データベース: CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NACSIS書誌ID（NCID）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA87878710 : BA87878710