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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- プラズマ CVD ニ ヨル トウメイ・コウシツナ チョウハッスイセイ ハクマク ノ サクセイ
- 著者・編者
- 高井治 [ほか著]
- 著者標目
- 高井, 治 タカイ, オサム
- 出版事項
- 出版年月日等
- 1998.3
- 出版年（W3CDTF）
- 1998
- 大きさ
- 30cm
- 並列タイトル等
- 平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書