Challenges in process integration and device technology : 18-19 September 2000, Santa Clara, USA

資料種別: 図書

著者: David Burnett, Shinʾichiro Kimura, Bhanwar Singh, chairs/editors ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering ; cooperating organizations, SolidState Technology, the Electrochemical Society, [and] AVS--American Vacuum Society (USA)

出版者: SPIE

出版年: c2000

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 28 cm

NDC: -

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紙

資料種別: 図書
ISBN: 0819438421
タイトル: Challenges in process integration and device technology : 18-19 September 2000, Santa Clara, USA
著者・編者: David Burnett, Shinʾichiro Kimura, Bhanwar Singh, chairs/editors ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering ; cooperating organizations, SolidState Technology, the Electrochemical Society, [and] AVS--American Vacuum Society (USA)
著者標目: Burnett, David
Kimura, Shiníchiro
Singh, Bhanwar
Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
https://ci.nii.ac.jp/author/DA00848546
Solid State Technology (Organization)
Electrochemical Society
https://ci.nii.ac.jp/author/DA00164369
American Vacuum Society
https://ci.nii.ac.jp/author/DA03926125
出版事項: SPIE
出版年月日等: c2000
出版年（W3CDTF）: 2000
大きさ: 28 cm
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: en
件名標目: Integrated optics -- Congresses
Microlithography -- Congresses
Semiconductors -- Congresses
Optical interconnects -- Congresses
Microelectronics -- Congresses
LCC: TA1660
対象利用者: 一般
一般注記: Includes bibliographical references and index
関連情報: Proceedings
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282269217551104
関連情報（URI）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA85986858#entity
https://lccn.loc.gov/2002275088
掲載誌: Proceedings
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282269217551104
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
提供元機関・データベース: CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NACSIS書誌ID（NCID）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA85986858 : BA85986858
LC control number: 2002275088
https://lccn.loc.gov/2002275088