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図書

昇華近接法による高品質SiCの高速エピタキシャル成長

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昇華近接法による高品質SiCの高速エピタキシャル成長

資料種別
図書
著者
研究代表者西野茂弘
出版者
[西野茂弘]
出版年
1999
資料形態
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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資料種別
図書
タイトルよみ
ショウカ キンセツホウ ニ ヨル コウヒンシツ SiC ノ コウソク エピタキシャル セイチョウ
著者・編者
研究代表者西野茂弘
出版事項
出版年月日等
1999
出版年(W3CDTF)
1999
大きさ
30cm
並列タイトル等
平成9年度-平成10年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号09450011)