IEEE/SEMI International Semiconductor Manufacturing Science Symposium : Burlingame, CA, USA, May 21-23. 1990

資料種別: 図書

著者: [sponsored by Semiconductor Equipment and Materials International ... [et al.]]

出版者: Institute of Electrical and Electronics Engineers

出版年: c1990

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 28 cm

NDC: -

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資料種別: 図書
タイトル: IEEE/SEMI International Semiconductor Manufacturing Science Symposium : Burlingame, CA, USA, May 21-23. 1990
著者・編者: [sponsored by Semiconductor Equipment and Materials International ... [et al.]]
著者標目: IEEE/SEMI International Semiconductor Manufacturing Science Symposium (2nd : 1990 : Burlingame, Calif.)
Semiconductor Equipment and Materials International
出版事項: Institute of Electrical and Electronics Engineers
Additional copies may be purchased from IEEE Service Center
出版年月日等: c1990
出版年（W3CDTF）: 1990
大きさ: 28 cm
並列タイトル等: ISMSS '90 proceedings
90CH2810-0
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: en
件名標目: Electronic industries -- Congresses
Semiconductors -- Design and construction -- Congresses
Computer integrated manufacturing systems -- Congresses
LCC: TK7836
対象利用者: 一般
一般注記: Spine title: ISMSS '90 proceedings
"Theme: 'Manufacturing science'"
Includes bibliographical references
"IEEE catalog number 90CH2810-0"--T.p. verso
関連情報（URI）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA10862875#entity
https://lccn.loc.gov/89081579
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
提供元機関・データベース: CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NACSIS書誌ID（NCID）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA10862875 : BA10862875
LC control number: 89081579
https://lccn.loc.gov/89081579