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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- コウミツド プラズマ PVD ニ ヨル ジ セダイ チョウコウシツ ハクマク ゴウセイ
- 著者・編者
- 研究代表者 三宅正司
- 著者標目
- 三宅, 正司 ミヤケ, ショウジ
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2001.2
- 出版年（W3CDTF）
- 2001
- 大きさ
- 30cm
- 並列タイトル等
- 平成9年度～平成11年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書