リサイクルによる半導体級シリコンの製造

資料に関する注記

一般注記：: 平成15年度〜平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書研究分担者: 光田好孝, 岡部徹, 三宅正男課題番号: 15206101

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資料種別: 図書
タイトル: リサイクルによる半導体級シリコンの製造
タイトルよみ: リサイクルニヨルハンドウタイキュウシリコンノセイゾウ
著者・編者: 研究代表者前田正史
著者標目: 前田, 正史マエダ, マサフミ
https://ci.nii.ac.jp/author/DA05705987
光田, 好孝ミツダ, ヨシタカ
https://ci.nii.ac.jp/author/DA12441320
岡部, 徹
三宅, 正男
出版事項: 前田正史
出版年月日等: 2005.3
出版年（W3CDTF）: 2005
大きさ: 30cm
並列タイトル等: 平成15年度〜平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書
出版地（国名コード）: ja
本文の言語コード: ja
対象利用者: 一般
一般注記: 平成15年度〜平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書
研究分担者: 光田好孝, 岡部徹, 三宅正男
課題番号: 15206101
関連情報（URI）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA74792328#entity
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
提供元機関・データベース: CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NACSIS書誌ID（NCID）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA74792328 : BA74792328