負イオンビームによるチャージアップ・フリー・イオン注入技術の開発

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資料種別: 図書
タイトル: 負イオンビームによるチャージアップ・フリー・イオン注入技術の開発
タイトルよみ: フイオンビームニヨルチャージアップフリーイオンチュウニュウギジュツノカイハツ
著者・編者: 石川順三研究代表
著者標目: 石川, 順三イシカワ, ジュンゾウ
https://ci.nii.ac.jp/author/DA0112509X
京都大学大学院工学研究科キョウトダイガクダイガクインコウガクケンキュウカ
https://ci.nii.ac.jp/author/DA12826609
出版事項: [石川順三]
出版年月日等: 1995.3
出版年（W3CDTF）: 1995
大きさ: 30cm
並列タイトル等: 平成5年度・6年度科学研究費補助金試験研究(B)(1)研究成果報告書 : 課題番号 05555008
出版地（国名コード）: ja
対象利用者: 一般
一般注記: 京都大学工学部電子工学教室
関連情報（URI）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA73966536#entity
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
提供元機関・データベース: CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NACSIS書誌ID（NCID）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA73966536 : BA73966536