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薄膜の力学的特性評価技術 : トライボロジー・内部応力・密着性

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薄膜の力学的特性評価技術 : トライボロジー・内部応力・密着性

資料種別
図書
著者
金原粲 [ほか編]
出版者
リアライズ・アドバンストテクノロジ
出版年
1992.3
資料形態
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
549
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資料に関する注記

一般注記:

編集委員長: 金原粲編集委員: 河野彰夫, 生地文也, 馬場茂文献: 節末

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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
4898080618
タイトルよみ
ハクマク ノ リキガクテキ トクセイ ヒョウカ ギジュツ : トライボロジー ナイブ オウリョク ミッチャクセイ
著者・編者
金原粲 [ほか編]
出版年月日等
1992.3
出版年(W3CDTF)
1992
大きさ
30cm