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球面半導体用単結晶シリコン微小ボールの精密加工

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球面半導体用単結晶シリコン微小ボールの精密加工

資料種別
図書
著者
研究代表者 柴田順二
出版者
[柴田順二]
出版年
2003.5
資料形態
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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資料種別
図書
タイトルよみ
キュウメン ハンドウタイ ヨウ タン ケッショウ シリコン ビショウ ボール ノ セイミツ カコウ
著者・編者
研究代表者 柴田順二
著者標目
出版事項
出版年月日等
2003.5
出版年(W3CDTF)
2003
大きさ
30cm
並列タイトル等
平成13年度-平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書(13650130)