MOSトランジスタのソース・ドレイン近傍でのドーパント2次元拡がり測定の研究

資料種別: 図書

著者: 研究代表者芝原健太郎

出版者: [芝原健太郎]

出版年: 2002.3

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 30cm

NDC: -

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資料に関する注記

一般注記：: 課題番号: 11650326研究代表者: 芝原健太郎(広島大学ナノデバイス・システム研究センター助教授)研究分担者: 横山新...

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資料種別: 図書
タイトル: MOSトランジスタのソース・ドレイン近傍でのドーパント2次元拡がり測定の研究
タイトルよみ: MOS トランジスタノソースドレインキンボウデノドーパント 2ジゲンヒロガリソクテイノケンキュウ
著者・編者: 研究代表者芝原健太郎
著者標目: 芝原, 健太郎シバハラ, ケンタロウ
横山, 新ヨコヤマ, シン
https://ci.nii.ac.jp/author/DA16384240
出版事項: [芝原健太郎]
出版年月日等: 2002.3
出版年（W3CDTF）: 2002
大きさ: 30cm
並列タイトル等: MOSトランジスタのソースドレイン近傍でのドーパント2次元拡がり測定の研究
出版地（国名コード）: ja
対象利用者: 一般
一般注記: 課題番号: 11650326
研究代表者: 芝原健太郎(広島大学ナノデバイス・システム研究センター助教授)
研究分担者: 横山新
参考文献あり
関連情報: 科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282272641935488
関連情報（URI）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB29489049#entity
掲載誌: 科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282272641935488
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
提供元機関・データベース: CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NACSIS書誌ID（NCID）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB29489049 : BB29489049