ULSI極微細・高アスペクト比孔の低損傷形成研究

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資料種別: 図書
タイトル: ULSI極微細・高アスペクト比孔の低損傷形成研究
タイトルよみ: ULSI キョクビサイコウアスペクトヒコウノテイソンショウケイセイケンキュウ
著者・編者: 研究代表者、堀池靖浩
著者標目: 堀池, 靖浩ホリイケ, ヤスヒロ
https://ci.nii.ac.jp/author/DA09556390
市野瀬, 英喜イチノセ, ヒデキ
https://ci.nii.ac.jp/author/DA02950554
一木, 隆範イチキ, タカノリ
https://ci.nii.ac.jp/author/DA13583819
関根, 誠
出版事項: 堀池靖浩
出版年月日等: 2002.3
出版年（W3CDTF）: 2002
大きさ: 30cm
並列タイトル等: 平成13年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
文部科学省科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
出版地（国名コード）: ja
対象利用者: 一般
一般注記: 研究分担者: 市野瀬英[喜]、一木隆範、関根誠
「はしがきの研究分担者 (誤植) : 市野瀬英樹...」
関連情報（URI）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA57636916#entity
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
提供元機関・データベース: CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NACSIS書誌ID（NCID）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA57636916 : BA57636916