図書

次世代超高密度デバイス用極薄絶縁膜の開発

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次世代超高密度デバイス用極薄絶縁膜の開発

資料種別
図書
著者
研究代表者 尾嶋正治
出版者
尾嶋正治
出版年
2001.3
資料形態
ページ数・大きさ等
29cm
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

研究者: 藤岡洋,小野寛太,大渕博宣

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資料種別
図書
タイトルよみ
ジセダイ チョウ コウミツド デバイスヨウ ゴクウス ゼツエンマク ノ カイハツ
著者・編者
研究代表者 尾嶋正治
著者標目
尾嶋正治 オシマ, マサハル
出版事項
出版年月日等
2001.3
出版年(W3CDTF)
2001
大きさ
29cm
並列タイトル等
平成10年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
文部省科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書