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Crystallographic and dielectric properties of ZrO[2] films epitaxially grown by limited reaction sputtering

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Crystallographic and dielectric properties of ZrO[2] films epitaxially grown by limited reaction sputtering

資料種別
図書
著者
周英[著]
出版者
[周英]
出版年
[2009.7]
資料形態
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

博士論文(金沢大学, 2009, 甲第1134号)

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資料種別
図書
著者・編者
周英[著]
著者標目
周, 英 ツオウ, イン
出版事項
出版年月日等
[2009.7]
出版年(W3CDTF)
2009
大きさ
30cm
並列タイトル等
制限反応スパッタ法によるZrO[2]薄膜のエピタキシャル成長とその結晶学的・誘電的特性
出版地(国名コード)
ja