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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ケイイオン スパッタリング ノ ダイナミカル シミュレーション
- 著者・編者
- 剣持貴弘 [著]
- 著者標目
- 剣持, 貴弘 ケンモツ, タカヒロ
- 出版事項
- 出版年月日等
- 1998
- 出版年（W3CDTF）
- 1997
- 大きさ
- 30cm
- 並列タイトル等
- 博士論文総合研究大学院大学数物科学研究科核融合科学専攻博士論文