Device and process technologies for MEMS and Microelectronics II : 17-19 December 2001, Adelaide, Australia

著者: Jung-Chih Chiao, Lorenzo Fraone, H. Barry Harrison, Andrei M. Shkel, chairs/editors ; sponsored and published by SPIE--the International Society for Optical Engineering, ; cosponsored by U. S. Air Force Office of Scientific Reserch Asian Office of Aerospace Research and Development ... [et al.] ; cooperating organization, IEEE South Australia Section

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資料種別: 図書
ISBN: 0819443220
タイトル: Device and process technologies for MEMS and Microelectronics II : 17-19 December 2001, Adelaide, Australia
著者・編者: Jung-Chih Chiao, Lorenzo Fraone, H. Barry Harrison, Andrei M. Shkel, chairs/editors ; sponsored and published by SPIE--the International Society for Optical Engineering, ; cosponsored by U. S. Air Force Office of Scientific Reserch Asian Office of Aerospace Research and Development ... [et al.] ; cooperating organization, IEEE South Australia Section
著者標目: Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
https://ci.nii.ac.jp/author/DA00848546
Chiao, Jung-Chih
Fraone, Lorenzo
Harrison, H. Barry
Shkel, Andrei M.
出版事項: SPIE--the International Society of Optical Engineering
出版年月日等: c2001
出版年（W3CDTF）: 2001
大きさ: 28 cm
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: en
対象利用者: 一般
一般注記: Includes index
関連情報: Proceedings
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282269217551104
関連情報（URI）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA58802522#entity
掲載誌: Proceedings
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282269217551104
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
提供元機関・データベース: CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NACSIS書誌ID（NCID）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA58802522 : BA58802522