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液面上の直流プラズマを利用する新しいCVD法の開発

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液面上の直流プラズマを利用する新しいCVD法の開発

資料種別
図書
著者
鈴木健之研究代表者
出版者
鈴木健之
出版年
2001.3
資料形態
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

[課題番号] : 11305052

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資料種別
図書
タイトルよみ
エキメンジョウ ノ チョクリュウ プラズマ オ リヨウスル アタラシイ CDVホウ ノ カイハツ
著者・編者
鈴木健之研究代表者
著者標目
鈴木, 健之 スズキ, タケユキ
出版事項
出版年月日等
2001.3
出版年(W3CDTF)
2001
大きさ
30cm
並列タイトル等
科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書 : 平成11年度〜平成12年度