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図書

マイクロ電子ビームと2次元表示阻止型電子分析器を用いた局所表面解析装置の開発

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マイクロ電子ビームと2次元表示阻止型電子分析器を用いた局所表面解析装置の開発

資料種別
図書
著者
研究代表者 河野省三 [ほか著]
出版者
[出版者不明]
出版年
1997.3
資料形態
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

課題番号:07554051

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資料種別
図書
タイトルよみ
マイクロ デンシ ビーム ト 2ジゲン ヒョウジ ソシガタ デンシ ブンセキキ ヲ モチイタ キョクショ ヒョウメン カイセキ ソウチ ノ カイハツ
著者・編者
研究代表者 河野省三 [ほか著]
著者標目
河野, 省三 コウノ, ショウゾウ
出版事項
出版年月日等
1997.3
出版年(W3CDTF)
1997
大きさ
30cm
並列タイトル等
平成7年度~平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2)) 研究成果報告書