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機能性複合化合物材料の合成に向けた選択的運動量制御型プラズマ成膜技術の開発

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機能性複合化合物材料の合成に向けた選択的運動量制御型プラズマ成膜技術の開発

資料種別
図書
著者
研究代表者 佐藤直幸
出版者
[茨城大学大学院理工学研究科]
出版年
2008.5
資料形態
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

研究課題番号: 16360356

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資料種別
図書
タイトルよみ
キノウセイ フクゴウ カゴウブツ ザイリョウ ノ ゴウセイ ニムケタ センタクテキ ウンドウリョウ セイギョガタ プラズマ セイマク ギジュツ ノ カイハツ
著者・編者
研究代表者 佐藤直幸
著者標目
佐藤, 直幸 サトウ, ナオユキ
出版年月日等
2008.5
出版年(W3CDTF)
2008
大きさ
30cm
出版地(国名コード)
ja