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Laser/optical processing of electronic materials, 10-11 October 1989, Santa Clara, California

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Laser/optical processing of electronic materials, 10-11 October 1989, Santa Clara, California

資料種別
図書
著者
J. Narayan, chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering ; cooperating organizations, SEMATECH [and] Center for Advanced Electronic Materials Processing, North Carolina State University [and] Engineering Research Center for Plasma-Aided Manufacturing, University of Wisconsin-Madison
出版者
SPIE
出版年
c1990
資料形態
ページ数・大きさ等
28 cm
NDC
-
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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
0819402265
著者・編者
J. Narayan, chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering ; cooperating organizations, SEMATECH [and] Center for Advanced Electronic Materials Processing, North Carolina State University [and] Engineering Research Center for Plasma-Aided Manufacturing, University of Wisconsin-Madison
出版事項
出版年月日等
c1990
出版年(W3CDTF)
1990
大きさ
28 cm
出版地(国名コード)
us