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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ゲンシ ステップ セイギョ エピタキシーホウ ニヨル SiC ジュンセイ ケッショウ セイサク ト パワー デバイス エノ オウヨウ
- 著者・編者
- 松波弘之研究代表
- 著者標目
- 松波, 弘之 マツナミ, ヒロユキ京都大学大学院工学研究科 キョウト ダイガク ダイガクイン コウガク ケンキュウカ
- 出版事項
- 出版年月日等
- 1992.3
- 出版年（W3CDTF）
- 1992
- 大きさ
- 26cm
- 並列タイトル等
- 平成3年度科学研究費補助金試験研究(B)(2)研究成果報告書 : 課題番号 02555059