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シリコン基板上に界面制御して形成した単結晶強誘電体薄膜の作製

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シリコン基板上に界面制御して形成した単結晶強誘電体薄膜の作製

資料種別
図書
著者
研究代表者 堀田將
出版者
[堀田將]
出版年
2002.4
資料形態
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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資料種別
図書
タイトルよみ
シリコン キバンジョウ ニ カイメン セイギョシテ ケイセイシタ タンケッショウ キョウユウデンタイ ハクマク ノ サクセイ
著者・編者
研究代表者 堀田將
著者標目
堀田, 將 ホリタ, ススム
出版事項
出版年月日等
2002.4
出版年(W3CDTF)
2002
大きさ
30cm
出版地(国名コード)
ja