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メタル-シリコン化合物(シリサイド)の成長機構に関する基礎研究

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メタル-シリコン化合物(シリサイド)の成長機構に関する基礎研究

資料種別
図書
著者
研究代表者 下崎敏唯
出版者
[九州工業大学]
出版年
1995.3
資料形態
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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一般注記:

研究課題番号: 04650604

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資料種別
図書
タイトルよみ
メタル-シリコン カゴウブツ シリサイド ノ セイチョウ キコウ ニ カンスル キソ ケンキュウ
著者・編者
研究代表者 下崎敏唯
著者標目
下崎, 敏唯 シモザキ, トシタダ
出版年月日等
1995.3
出版年(W3CDTF)
1995
大きさ
30cm
並列タイトル等
平成6年度科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書