Proceedings of the Symposium on Process Physics and Modeling in Semiconductor Technology

資料種別: 図書

著者: edited by G.R. Srinivasan, J. Plummer, D. Antoniadis ; [sponsored by] Electronics and Dielectrics and Insulation Divisions

出版者: Electrochemical Society

出版年: c1988

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 23 cm

NDC: -

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資料に関する注記

一般注記：: Includes bibliographical references and indexes"... held in San Diego, California, October 19-24, 1986, and at the General Session of the ECS 170th me...

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資料種別: 図書
タイトル: Proceedings of the Symposium on Process Physics and Modeling in Semiconductor Technology
著者・編者: edited by G.R. Srinivasan, J. Plummer, D. Antoniadis ; [sponsored by] Electronics and Dielectrics and Insulation Divisions
著者標目: Symposium on Process Physics and Modeling in Semiconductor Technology
https://ci.nii.ac.jp/author/DA07269423
Srinivasan, G. R.
https://ci.nii.ac.jp/author/DA07269456
Plummer, J.
Antoniadis, D.
Electrochemical Society. Electronics Division
https://ci.nii.ac.jp/author/DA0357072X
Electrochemical Society. Dielectrics and Insulation Division
https://ci.nii.ac.jp/author/DA03570741
Electrochemical Society. Meeting
https://ci.nii.ac.jp/author/DA03398898
出版事項: Electrochemical Society
出版年月日等: c1988
出版年（W3CDTF）: 1988
大きさ: 23 cm
並列タイトル等: Process physics and modeling in semiconductor technology
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: en
件名標目: Semiconductors -- Mathematical models -- Congresses
LCC: TK7871.85
対象利用者: 一般
一般注記: Includes bibliographical references and indexes
"... held in San Diego, California, October 19-24, 1986, and at the General Session of the ECS 170th meeting" -- on pref
関連情報: Proceedings
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282269273401728
関連情報（URI）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA84979904#entity
https://lccn.loc.gov/88082250
掲載誌: Proceedings
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282269273401728
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
提供元機関・データベース: CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NACSIS書誌ID（NCID）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA84979904 : BA84979904
LC control number: 88082250
https://lccn.loc.gov/88082250