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銅薄膜自己維持スパッタによる高エレクトロマイグレーション耐性多層配線の研究

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銅薄膜自己維持スパッタによる高エレクトロマイグレーション耐性多層配線の研究

資料種別
図書
著者
研究代表者 新宮原正三
出版者
[新宮原正三]
出版年
1999.10
資料形態
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

研究課題番号: 08555076研究代表者: 新宮原正三(広島大学工学部助教授)研究分担者: 高萩隆行, 坂上弘之, 吉川公麿...

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資料種別
図書
タイトルよみ
ドウハクマク ジコ イジ スパッタ ニヨル コウ エレクトロ マイグレーション タイセイ タソウ ハイセン ノ ケンキュウ
著者・編者
研究代表者 新宮原正三
著者標目
新宮原, 正三 シングハラ, ショウソウ
出版事項
出版年月日等
1999.10
出版年(W3CDTF)
1999
大きさ
30cm
出版地(国名コード)
ja