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Ti-Ni形状記憶合金スパッタ薄膜を用いた強力大変位マイクロアクチュエータの作製

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Ti-Ni形状記憶合金スパッタ薄膜を用いた強力大変位マイクロアクチュエータの作製

資料種別
図書
著者
宮崎修一研究代表
出版者
[宮崎修一]
出版年
2006.3
資料形態
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

課題番号: 14205099

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資料種別
図書
タイトルよみ
Ti-Ni ケイジョウ キオク ゴウキン スパッタ ハクマク オ モチイタ キョウリョク ダイヘンイ マイクロ アクチュエータ ノ サクセイ
著者・編者
宮崎修一研究代表
出版事項
出版年月日等
2006.3
出版年(W3CDTF)
2006
大きさ
30cm
出版地(国名コード)
ja