Micromachining and microfabrication process technology : 23-24 October, 1995, Austin, Texas

資料種別: 図書

著者: Karen W. Markus, chair/editor ; sponsored by SEMI--Semiconductor Equipment and Materials International, NIST--National Institute of Standards and Technology, SPIE--The International Society of Optical Engineering

出版者: SPIE

出版年: c1995

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 28 cm

NDC: -

すべて見る

資料に関する注記

一般注記：: Includes bibliographical references and index

書店で探す

全国の図書館の所蔵

国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。

連携機関・データベースの一覧

所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください

その他

CiNii Research
検索サービス
紙
連携先のサイトで、CiNii Researchが連携している機関・データベースの所蔵状況を確認できます。
この本の所蔵を確認

書店で探す

書誌情報

この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。

紙

資料種別: 図書
ISBN: 0819420050
タイトル: Micromachining and microfabrication process technology : 23-24 October, 1995, Austin, Texas
著者・編者: Karen W. Markus, chair/editor ; sponsored by SEMI--Semiconductor Equipment and Materials International, NIST--National Institute of Standards and Technology, SPIE--The International Society of Optical Engineering
著者標目: Markus, Karen W.
https://ci.nii.ac.jp/author/DA10568477
Semiconductor Equipment and Materials International
https://ci.nii.ac.jp/author/DA0468648X
National Institute of Standards and Technology (U.S.)
Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
出版事項: SPIE
出版年月日等: c1995
出版年（W3CDTF）: 1995
大きさ: 28 cm
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: en
件名標目: Micromachining -- Congresses
Microfabrication -- Congresses
Electromechanical devices -- Design and construction -- Congresses
LCC: TJ1191.5
対象利用者: 一般
一般注記: Includes bibliographical references and index
関連情報: Proceedings
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282269217551104
関連情報（URI）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA30112492#entity
https://lccn.loc.gov/95070374
掲載誌: Proceedings
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282269217551104
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
提供元機関・データベース: CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NACSIS書誌ID（NCID）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA30112492 : BA30112492
LC control number: 95070374
https://lccn.loc.gov/95070374