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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 9784627784918
- タイトルよみ
- ハジメテ ノ MEMS : micro electro mechanical systems
- 著者・編者
- 江刺正喜著
- 著者標目
- 江刺, 正喜 エサシ, マサヨシ
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2011.3
- 出版年（W3CDTF）
- 2011
- 大きさ
- 21cm