ULSIグローバル・プラナリゼーションのための超精密機械的平坦化技術

ULSIグローバル・プラナリゼーションのための超精密機械的平坦化技術

資料種別: 図書

著者: 河西敏雄, 土肥俊郎監修・編集

出版者: グローバルネット

出版年: 1995.5

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 27cm

NDC: 549.7

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一般注記：: 執筆者:前田和夫ほか各章末:参考文献

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資料種別: 図書
タイトル: ULSIグローバル・プラナリゼーションのための超精密機械的平坦化技術
タイトルよみ: ULSI グローバル・プラナリゼーションノタメノチョウセイミツキカイテキヘイタンカギジュツ
著者・編者: 河西敏雄, 土肥俊郎監修・編集
著者標目: 河西, 敏雄カワニシ, トシオ
https://ci.nii.ac.jp/author/DA08611722
土肥, 俊郎ドヒ, トシロウ
出版事項: グローバルネット
出版年月日等: 1995.5
出版年（W3CDTF）: 1995
大きさ: 27cm
出版地（国名コード）: ja
本文の言語コード: ja
NDC8版: 549.7
対象利用者: 一般
一般注記: 執筆者:前田和夫ほか
各章末:参考文献
関連情報（URI）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BN13496334#entity
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
提供元機関・データベース: CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NACSIS書誌ID（NCID）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BN13496334 : BN13496334

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