Smart sensors, actuators, and MEMS II : 9-11 May 2005, Seville, Spain : pbk

• 資料種別: 図書
• ISBN: 0819458317
• タイトル: Smart sensors, actuators, and MEMS II : 9-11 May 2005, Seville, Spain
• 巻次・部編番号: : pbk
• 著者・編者: Carles Cané, Jung-Chih Chiao, Fernando Vidal Verdú, chairs/editors ; sponsored by, SPIE Europe, ; cosponsored by, AnaFocus (Spain) ... [et al.] ; cooperating organizations, CNM--Centro Nacional de Microelectrónica (Spain) ... [et al.] ; published by SPIE--the International Society for Optical Engineering
• 著者標目: Chiao, Jung-Chih; Cané, Carles; SPIE Europe; AnaFocus; Centro Nacional de Microlectrónica; Society of Photo-optical Instrumentation Engineers; https://ci.nii.ac.jp/author/DA00848546
• 出版事項: SPIE
• 出版年月日等: c2005
• 出版年（W3CDTF）: 2005
• 大きさ: 28 cm
• 並列タイトル等: Smart sensors, actuators, and MEMS 2
• 出版地（国名コード）: us
• 本文の言語コード: en
• 件名標目: Microelectromechanical systems -- Congresses; Microtechnology -- Congresses; Actuators -- Industrial applications -- Congresses; Detectors -- Industrial applications -- Congresses; Scanning systems -- Congresses
• LCC: TK7875
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: Includes bibliographical references and author index
• 関連情報: Proceedings; https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282269217551104
• 関連情報（URI）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA76514246#entity; https://lccn.loc.gov/2006273198
• 掲載誌: Proceedings; https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282269217551104
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
• 提供元機関・データベース: CiNii Books; https://ci.nii.ac.jp/books
• NACSIS書誌ID（NCID）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA76514246 : BA76514246
• LC control number: 2006273198; https://lccn.loc.gov/2006273198