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シリコン/ゲルマニウム系半導体のサブ原子層単位成長ディジタルエピタキシー

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シリコン/ゲルマニウム系半導体のサブ原子層単位成長ディジタルエピタキシー

資料種別
図書
著者
須田良幸研究代表者
出版者
須田良幸
出版年
1998.3
資料形態
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

[課題番号] : 08650369

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資料種別
図書
タイトルよみ
シリコン ゲルマニウムケイ ハンドウタイ ノ サブ ゲンシソウ タンイ セイチョウ ディジタル エピタキシー
著者・編者
須田良幸研究代表者
著者標目
須田, 良幸 スダ, ヨシユキ
出版事項
出版年月日等
1998.3
出版年(W3CDTF)
1998
大きさ
30cm
並列タイトル等
科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書 : 平成8年度〜平成9年度